团队以有机半导体材料金属酞菁(MPc)为敏感材料,首创了通过结合高导电性能的石墨烯量子点(GQDs),并辅以蓝紫色激光(405nm,50mW)诱导等离子效应,实现了低功耗情况下对NO 、NH 等气体分子的高灵敏2 3检测(ppb量级)以及快速响应和恢复(秒量级)。此外,通过改良了一种MEMS工艺中的光刻剥离(lift-off)技术,已经实现在硅基、陶瓷基和柔性基底上制作微型传感器叉指电极,具有尺寸微小(0.10mm2)、信号传导快、规模化制备的优势。本项目可以有效解决传统半导体式气体传感器必须高温激发、加热恢复、检测精度和检测极限不足等难题,并且具有结构稳定、制作成本低廉、特异性强等优势。本项目申请各类知识产权100余
项,包含了专利、软件著作权、商标等多种形式,在材料、器件、设备和软件上进行了全面的布局,将推动半导体式气体传感器的发展,对提高气体监测系统整体的便携度和智能化水平将发挥积极作用,助力中国环保、
安全监测等事业。目前,项目累计服务客户超300家、间接覆盖客户超千家(其中不乏大型国央企、省部直属科研院所),主要应用在工业污染监测、生产流程监测、安全泄露监测、大气环境监测及室内环境监测等领域。此外,项目也在积极布局新能源电池监测、低空巡检、体外无创诊断、机器人智慧感知等多个新兴领域的气体监测需求,已经与多家头部企业达成对接合作。项目已建成一期量产线,预计2025年产能达到100万颗,2026年产能达到
200万颗。